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由于油分子量是空气分子量5～2倍，油分子能比空气大一个数量级，泵油在加热情况形成每秒2m定向运动的蒸气流是油扩散泵关键。由此看来，若要扩散泵正常工作：a.扩散泵在加热时必须有足够大的蒸气压，而在冷却后要有足够低的蒸气压。b.一定要有前级泵才能工作，因只有油蒸气流密度远大于空气密度时才能形成高速气流。c.要有足够的加热功率，使油锅内油迅速蒸发，通过喷嘴形成定向射流。d.要有足够的冷却能力，使油蒸气碰到泵壁时能很快地冷凝为液体返回油锅，否则冷却不够产生反扩散，降低真空度。
